Обикновено периодът на изпаряване на етиленовия оксид след стерилизация надвишава 12 часа, като скоростта на изпаряване зависи от зоната и продължителността на стерилизацията.
Ако етиленовият оксид се използва само за унищожаване на ограничено количество бактерии, останалият етиленов оксид, който не може да се разгради, естествено ще се изпари за продължителен период от време.