Doba odpařování ethylenoxidu po sterilizaci obvykle přesahuje 12 hodin, přičemž rychlost odpařování závisí na oblasti a délce sterilizace.
Pokud se ethylenoxid použije pouze k likvidaci omezeného množství bakterií, zbývající ethylenoxid, který se nedokáže rozložit, se přirozeně odpaří až po delší době.
