โดยทั่วไป ระยะเวลาการระเหยของเอทิลีนออกไซด์หลังการฆ่าเชื้อจะเกิน 12 ชั่วโมง โดยอัตราการระเหยจะขึ้นอยู่กับพื้นที่และระยะเวลาของการฆ่าเชื้อ.
หากมีการใช้เอทิลีนออกไซด์เพียงเพื่อกำจัดแบคทีเรียในปริมาณจำกัด เอทิลีนออกไซด์ที่เหลือซึ่งไม่สามารถสลายตัวได้ จะใช้เวลาเป็นระยะเวลานานโดยธรรมชาติในการระเหยออกไป.
