Tipik olarak, sterilizasyon sonrası etilen oksit için buharlaşma süresi 12 saati aşar ve buharlaşma oranı sterilizasyon alanına ve süresine bağlıdır.
Etilen oksit sadece sınırlı miktarda bakteriyi yok etmek için kullanılırsa, parçalanamayan kalan etilen oksitin uçması doğal olarak uzun bir süre alacaktır.
