Az etilén-oxid elpárolgási ideje a sterilizálás után általában meghaladja a 12 órát, a párolgás mértéke pedig a sterilizálás területétől és időtartamától függ.
Ha az etilén-oxidot csupán korlátozott mennyiségű baktérium kiirtására használják, a maradék etilén-oxid, amely nem képes lebomlani, természetesen hosszabb idő alatt elpárolog.
