Biasanya, periode penguapan untuk etilen oksida pasca-sterilisasi melebihi 12 jam, dengan tingkat penguapannya bergantung pada area dan durasi sterilisasi.
Jika etilen oksida digunakan hanya untuk membasmi bakteri dalam jumlah terbatas, etilen oksida yang tersisa, yang tidak dapat terurai, secara alami akan membutuhkan waktu yang lama untuk menguap.
