Thông thường, thời gian bay hơi của ethylene oxide sau khi tiệt trùng vượt quá 12 giờ, với tốc độ bay hơi phụ thuộc vào diện tích và thời gian tiệt trùng.

Nếu ethylene oxide được sử dụng chỉ để tiêu diệt một lượng vi khuẩn hạn chế, lượng ethylene oxide còn lại, không thể phân hủy, sẽ tự nhiên mất một thời gian dài để bay hơi.
