Zazwyczaj okres ulatniania się tlenku etylenu po sterylizacji przekracza 12 godzin, a szybkość jego parowania zależy od obszaru i czasu trwania sterylizacji.
Jeśli tlenek etylenu zostanie użyty tylko do wyeliminowania ograniczonej ilości bakterii, pozostały tlenek etylenu, niezdolny do rozpadu, będzie naturalnie potrzebował dłuższego czasu na ulotnienie się.
