Vanligvis er fordampningsperioden for etylenoksid etter sterilisering mer enn 12 timer, og fordampningshastigheten avhenger av området og varigheten av steriliseringen.
Hvis etylenoksid bare brukes til å utrydde en begrenset mengde bakterier, vil det naturligvis ta lang tid før det gjenværende etylenoksidet, som ikke kan brytes ned, fordamper.