وعادةً ما تتجاوز فترة تطاير أكسيد الإيثيلين بعد التعقيم 12 ساعة، ويتوقف معدل تبخره على مساحة التعقيم ومدته.
في حالة استخدام أكسيد الإيثيلين لمجرد القضاء على كمية محدودة من البكتيريا، فإن أكسيد الإيثيلين المتبقي غير القادر على التحلل سيستغرق بطبيعة الحال فترة طويلة حتى يتطاير.