Tavaliselt ületab etüleenoksiidi aurustumisperiood pärast steriliseerimist 12 tundi, kusjuures selle aurustumise kiirus sõltub steriliseerimise piirkonnast ja kestusest.
Kui etüleenoksiidi kasutatakse ainult piiratud koguse bakterite hävitamiseks, siis järelejäänud etüleenoksiid ei suuda laguneda ja selle lendumine võtab loomulikult pikema aja jooksul aega.