Čas izhlapevanja etilen oksida po sterilizaciji je običajno daljši od 12 ur, pri čemer je hitrost izhlapevanja odvisna od območja in trajanja sterilizacije.
Če se etilenoksid uporabi le za uničenje omejene količine bakterij, bo preostali etilenoksid, ki se ne more razgraditi, seveda izhlapeval dlje časa.