Зазвичай період випаровування етиленоксиду після стерилізації перевищує 12 годин, а швидкість його випаровування залежить від площі та тривалості стерилізації.
Якщо етиленоксид використовується лише для знищення обмеженої кількості бактерій, решта етиленоксиду, що не розпадається, природно, буде випаровуватися протягом тривалого періоду часу.