Normalerweise beträgt die Verflüchtigungszeit von Ethylenoxid nach der Sterilisation mehr als 12 Stunden, wobei die Verdampfungsrate von der Fläche und der Dauer der Sterilisation abhängt.
Wird Ethylenoxid nur zur Abtötung einer begrenzten Menge von Bakterien eingesetzt, verflüchtigt sich das verbleibende Ethylenoxid, das nicht abgebaut werden kann, natürlich erst nach einer längeren Zeit.