In genere, il periodo di volatilizzazione dell'ossido di etilene dopo la sterilizzazione supera le 12 ore; il tasso di evaporazione dipende dall'area e dalla durata della sterilizzazione.
Se l'ossido di etilene viene utilizzato solo per eliminare una quantità limitata di batteri, l'ossido di etilene rimanente, non potendo scomporsi, impiegherà naturalmente un lungo periodo per volatilizzarsi.