Parasti etilēnoksīda iztvaikošanas periods pēc sterilizācijas pārsniedz 12 stundas, un tā iztvaikošanas ātrums ir atkarīgs no sterilizācijas zonas un ilguma.
Ja etilēnoksīds tiek izmantots tikai ierobežota baktēriju daudzuma iznīcināšanai, atlikušajam etilēnoksīdam, kas nespēj sadalīties, dabiski būs nepieciešams ilgāks laiks, lai iztvaicētos.
