Doba odparovania etylénoxidu po sterilizácii zvyčajne presahuje 12 hodín, pričom rýchlosť odparovania závisí od oblasti a trvania sterilizácie.
Ak sa etylénoxid použije len na zničenie obmedzeného množstva baktérií, zvyšný etylénoxid, ktorý sa nedokáže rozložiť, sa prirodzene vyparí až po dlhšom čase.
