Tyypillisesti etyleenioksidin haihtumisaika steriloinnin jälkeen on yli 12 tuntia, ja sen haihtumisnopeus riippuu steriloinnin pinta-alasta ja kestosta.
Jos etyleenioksidia käytetään vain rajallisen bakteerimäärän hävittämiseen, jäljelle jäävän etyleenioksidin, joka ei pysty hajoamaan, haihtuminen kestää luonnollisesti pitkään.
